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科學(xué)技術(shù)の発展に欠かせない走査型電子顕微鏡、國(guó)産品の性能上げられず輸入に頼る中國(guó)の苦悩

Record China    2018年7月7日(土) 5時(shí)10分

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中國(guó)は科學(xué)技術(shù)の発展のために極めて重要な走査型電子顕微鏡の性能を向上できず、ほとんどを日?米?獨(dú)?チェコなどからの輸入に頼る狀態(tài)だ。

科學(xué)技術(shù)を?qū)熼Tとする中國(guó)メディアの科技日?qǐng)?bào)は3日、中國(guó)では科學(xué)技術(shù)の発展のために極めて重要な走査型電子顕微鏡の性能を向上させることができず、ほとんどを日?米?獨(dú)?チェコなどからの輸入に頼る狀態(tài)と指摘する記事を発表した。

顕微鏡とは、試料(観察対象)から反射する、場(chǎng)合によっては透過する「情報(bào)」を捉えることにより、試料の微小な形狀などを知ることができる機(jī)器だ。小學(xué)校でも使い方を?qū)Wぶ光學(xué)顕微鏡は、通常のレンズや凹面鏡を用いて光を反射屈折させることが原理だが、2000倍程度の倍率が限界だ。

1930年代にドイツで開発され、戦後に普及した電子顕微鏡は、それまでの光學(xué)顕微鏡の限界を一気に突破した。電子顕微鏡は透過電子顕微鏡(TEM)と走査電子顕微鏡(SEM)に大別される。TEMは透過した電子線により資料の形狀を知る機(jī)器で、倍率は50萬~150萬倍。SEMは細(xì)く絞った電子線で試料を走査することで、試料から出てくるさまざまな情報(bào)を検出する。倍率は10萬~100萬倍とTEMよりやや低いが、多方面にわたる情報(bào)が得られるので、「ミクロの世界」の実情を知るために、極めて有効だ。

科學(xué)日?qǐng)?bào)によると、中國(guó)電子顕微鏡學(xué)會(huì)SEM委員會(huì)の曽毅告副主任は、「決して大げさではなく、素材分野の論文內(nèi)容の70%~80%は、SEMによってもたらされた情報(bào)」と説明。その科學(xué)技術(shù)の進(jìn)歩に欠かせないSEMのほとんどを、中國(guó)は日?米?獨(dú)?チェコからの輸入に頼る狀態(tài)だ。中國(guó)國(guó)産のSEMの市場(chǎng)シェアは5%~10%という狀態(tài)という。

中國(guó)がSEMを輸入している理由は、中國(guó)メーカーがSEMに関連する多くの重要技術(shù)を「突破」できないでいるからだ。そのため、高性能のSEMを作ることができない。例えば、SEMでは試料に照射する電子ビームの幅をどれだけ細(xì)くできるかが、性能向上の重要な決め手の一つだ。曽副主任によると、現(xiàn)在は髪の毛の直徑の6萬分の1程度の1ナノメートルの直徑の電子ビームが求められる。電子工學(xué)システムのそれぞれの段階で高い技術(shù)が求められるが、中國(guó)企業(yè)にとっては解決の難しい問題という。

中國(guó)企業(yè)にとって、その他にも解決せねばならない問題があり、高性能のSEMを製造するのは困難な狀態(tài)だ。そのため中國(guó)全體として、SEM輸入のために、年間1億円(約16億7000萬円)以上を投じる狀態(tài)が続いているという。

曽副主任は、中國(guó)のSEM製造について、技術(shù)面ではTEMと一定の差があると説明。ただし、技術(shù)上の差はそれほど大きくないはずとして、開発資金の投入や政策の支援があれば、中國(guó)製SEMが自國(guó)の科學(xué)技術(shù)開発の部隊(duì)で大きな役割を果たす?fàn)顩rを見ることができるはずと主張している。(翻訳?編集/如月隼人

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