サムスンが液體フッ化水素を再利用する技術(shù)を開発、「日本依存」解消に期待の聲

Record China    2021年2月16日(火) 22時20分

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15日、韓國?マネートゥデイは、サムスン電子が半導體洗浄に使用される液體フッ化水素を再利用するシステムを開発し、テスト運営に入ったと伝えた。寫真はサムスンのロゴ。

2021年2月15日、韓國?マネートゥデイは、サムスン電子が半導體洗浄に使用される液體フッ化水素を再利用するシステムを開発し、テスト運営に入ったと伝えた。

半導體業(yè)界によると、サムスン電子が開発したのはフッ化水素洗浄液を內(nèi)部循環(huán)裝置で回収し再利用するというシステムで、華城(ファソン)半導體事業(yè)場の1ラインでテスト運営を行っている。本來、洗浄液は1回使用した後、化學排水処理の過程を経て排出されるが、再利用を?qū)毪工毪长趣扦饯欷坤睅鼦壩铯驕pらすことができる。

サムスン電子はテスト運営の結(jié)果を基にシステムを全設(shè)備に拡大するかどうかを決定する計畫だという。このシステムが全事業(yè)場に導入された場合、フッ化水素使用量を従來の87%減らせる見込みだとしている。

高純度フッ化水素はステラケミファ、森田化學工業(yè)など日本企業(yè)が世界の需要の90%以上を生産している。2019年7月に日本が半導體などに使用される素材3品目の対韓國輸出規(guī)制を強化したことで、韓國の半導體業(yè)界に緊張が走った。記事は「液化フッ化水素は気體フッ化水素に比べると日本輸入依存度が高い方ではないが、依然として日韓関係によって素材確保が左右されるほど、敏感な品目だ」としている。

ある関係者は「液體フッ化水素を再利用すれば輸入依存度を引き下げられる。このシステムの拡大に成功すれば、韓國半導體の競爭力が一層堅固なものになる」とコメントしたという。

この記事に、韓國のネットユーザーからは「サムスンの頭脳は素晴らしい。尊敬します」「サムスン、本當に素晴らしい。サムスンが韓國の企業(yè)だということを誇りに思う」「災(zāi)い転じて福となす。おかげで新技術(shù)を開発できたな」など、サムスンを稱賛するコメントが殺到している。

また「日本が輸出規(guī)制を強化した時、韓國はおしまいだと騒いでいた人たちはどうした?」「日本から輸入できなければおしまいだと言ってた人はどこへ?」といった聲や、「ここで油斷してはいけない。これから世界が韓國を追い抜こうとしてくるぞ」などの聲も見られた。(翻訳?編集/麻江)

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